申請?zhí)? 201510203214.3
       申請日: 2015.04.23
       國家/省市: 中國濟南(88)
       公開號: 104802043A
       公開日: 2015.07.29
       主分類號: B24B 1/00(2006.01)
       分類號: B24B 1/00(2006.01)
       申請人: 山東大學(xué)
       發(fā)明人: 姚鵬; 王偉; 黃傳真; 王軍; 朱洪濤; 劉含蓮; 鄒斌; 劉增文
       代理人: 趙敏玲
       代理機構(gòu): 37221
       申請人地址: 山東省濟南市歷下區(qū)經(jīng)十路17923號

       摘要： 本發(fā)明公開了一種自發(fā)熱輔助高效延性域超精密磨削石英玻璃的方法，包括以下步驟：步驟1對石英玻璃進行油性冷卻液輔助冷卻粗磨和精磨，獲得表面粗糙度Ra＆amp;lt;300nm，裂紋深度SSD＆amp;lt;5um的工件表面；步驟2利用超細磨粒陶瓷結(jié)合劑CBN砂輪對石英玻璃進行延性域干磨削，且不添加任何冷卻液，利用砂輪磨削過程產(chǎn)生的磨削熱使石英玻璃表面溫度升高，使石英玻璃的脆塑轉(zhuǎn)變臨界砂輪半徑切入深度從亞微米增大至數(shù)微米，在微米級的砂輪半徑切入深度下對石英玻璃進行磨削加工，實現(xiàn)石英玻璃的延性域高效超精密磨削，獲得光滑無裂紋的石英玻璃表面。

       主權(quán)利要求 1.一種自發(fā)熱輔助高效延性域超精密磨削石英玻璃的方法，其特征在于，包括以下步驟：步驟1對石英玻璃進行油性冷卻液輔助冷卻粗磨和精磨，獲得表面粗糙度Ra＆lt;300nm，裂紋深度SSD＆lt;5um的工件表面；步驟2利用超細磨粒陶瓷結(jié)合劑CBN砂輪對石英玻璃進行延性域干磨削，且不添加任何冷卻液，利用砂輪磨削過程產(chǎn)生的磨削熱使石英玻璃表面溫度升高，使石英玻璃的脆塑轉(zhuǎn)變臨界砂輪半徑切入深度從亞微米增大至數(shù)微米，在微米級的砂輪半徑切入深度下對石英玻璃進行磨削加工，實現(xiàn)石英玻璃的延性域高效超精密磨削，獲得光滑無裂紋的石英玻璃表面。