超精密磨削已廣泛應用于軸對稱非球面光學元件及硬脆材料的加工，加工過程中砂輪的不平衡量和機床主軸引起的振動直接影響工件表面精度及粗糙度。為了適應球面工件超精密加工的要求，本文通過分析加工過程中產(chǎn)生的振動現(xiàn)象，建立磨削中振動引起工件表面輪廓誤差的數(shù)學模型，研究主軸轉(zhuǎn)速變化及磨削加工參數(shù)對工件表面精度的影響；通過建立工件與砂輪之間的運動關(guān)系，得出砂輪的振幅、頻率及加工速度的變化對工件表面精度的影響條件。研究結(jié)果表明，選擇合理的加工參數(shù)能降低工件表面波紋度，提高工件的表面精度。
　　軸對稱非球面光學元件可以獲得球面光學元件不可比擬的良好的成像質(zhì)量，可提高光電系統(tǒng)的鑒別能力，在軍用和發(fā)用光電產(chǎn)品中應用廣泛，是光電系統(tǒng)中的重要零件。但由于超精密磨削加工是一個多種因素綜合作用的過程，在加工過程中容易產(chǎn)生振動，在工件表面形成振動波紋和形狀誤差，從而惡化了加工質(zhì)量，同時加劇了砂輪的磨損，降低了生產(chǎn)率。
　　加工中微小的振動對微米級/納米級的工件表面質(zhì)量的影響也是極大的。近年來，已開展了許多關(guān)于解決或降低振動的方法的研究，學者們試圖找出各種參數(shù)或因素與加工振動的關(guān)系，并提出了相關(guān)的解決方案來提高加工精度。