中科院物理研究所與北京天科合達(dá)藍(lán)光半導(dǎo)體有限公司經(jīng)過8個(gè)月的努力，合作研發(fā)出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的第二代碳化硅晶體生長爐，進(jìn)一步優(yōu)化了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的碳化硅晶體生長工藝，使晶體質(zhì)量的穩(wěn)定性和產(chǎn)率得到提高。同時(shí)，在國內(nèi)首次建立了一條完整的從切割、研磨到化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)的碳化硅晶片中試生產(chǎn)線，建成了百級(jí)超凈室，開發(fā)出碳化硅晶片表面處理，清洗、封裝等工藝技術(shù)，使產(chǎn)品達(dá)到了即開即用(Epi-ready)的水準(zhǔn)。日前，第一批中試批量生產(chǎn)的6H和4H晶型碳化硅晶片產(chǎn)品已經(jīng)下線并發(fā)往國內(nèi)用戶。
　　
　　碳化硅晶片是第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，在微電子、電力電子和半導(dǎo)體照明器件等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用和廣闊的市場(chǎng)前景。此前，碳化硅晶體生長及加工技術(shù)被國外少數(shù)公司壟斷，國內(nèi)所需的碳化硅晶片幾乎全部依賴進(jìn)口。中科院物理所自1999年開展碳化硅晶體生長研究工作，在攻克晶體生長關(guān)鍵技術(shù)并獲得高質(zhì)量晶片之后，率先在國內(nèi)開展了碳化硅晶體生長技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化工作。2006年8月與上海匯合達(dá)投資管理有限公司、新加坡吉星藍(lán)光科技有限責(zé)任公司共同成立了國內(nèi)第一家致力于碳化硅晶片研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的公司——北京天科合達(dá)藍(lán)光半導(dǎo)體有限公司。這次產(chǎn)品中試成果，標(biāo)志著碳化硅晶片的國產(chǎn)化進(jìn)入了一個(gè)新階段。
　　
　　物理所碳化硅產(chǎn)業(yè)化工作得到了中科院物質(zhì)科學(xué)基地、科技部863計(jì)劃和其它國家相關(guān)部門的大力支持。