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國產18寸半導體級單晶硅棒研制成功

關鍵詞 單晶硅 , 半導體|2020-07-02 09:05:09|來源 中關村在線
摘要 近日,在SemiconChina2020上,新美光(蘇州)半導體科技有限公司發布了450mm(18寸)11個9純度的半導體級單晶硅棒。據新美光CEO夏秋良介紹,450mm半導體單晶...

近日,在Semicon China2020上,新美光(蘇州)半導體科技有限公司發布了450mm(18寸)11個9純度的半導體級單晶硅棒。據新美光CEO夏秋良介紹,450mm半導體單晶硅棒采用國際最先進MCZ技術,代表國際先進水平,改變國內無自主450mm半導體級單晶硅棒的局面。將在28nm以下晶圓廠實現國產替代。

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2019年12月,新美光完成了數千萬元pre-A輪融資,由陜投成長基金領投,2020年6月份,又迅速的完成了新的一輪融資,由安豐創投領投。目前在建2萬平米廠房,預計2021年4月封頂,2021年年底產線投產。

擴展閱讀:晶圓是制造半導體芯片的基本材料,制作晶圓需要將單晶硅棒進行切段,滾磨,切片,倒角,拋光,激光刻,包裝而成。

而單晶硅棒的制造則需要純度為99.9999%的電子級別硅在1400 ℃高溫中溶解,然后在溶液中種入籽晶。隨后慢慢拉出形成圓柱形單晶硅棒。

電子級別硅的提純則需要把砂石放在2000℃的高溫中與碳源發生反應。生成純度為98%的硅(冶金級硅),隨后把粉碎的冶金級硅與氣態的氯化氫進行氯化反應,生成液態的硅烷。通過蒸餾和化學還原工藝,得到了純度為99.99999%的多晶硅。

此次新美光(蘇州)半導體科技有限公司自主生產的450mm的半導體級單晶硅棒,在當下有十分重要的戰略意義。

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