近日，國家知識產權局信息顯示，深圳中機新材料有限公司申請一項名為“一種用于金剛石襯底的精拋液及其制備方法、金剛石襯底的拋光方法”的專利，公開號CN120365854A，申請日期為2025年04月。

       本發明公開了一種用于金剛石襯底的精拋液及其制備方法、金剛石襯底的拋光方法，涉及金剛石加工技術領域。用于金剛石襯底的精拋液包括第一精拋液或第二精拋液，其中：第一精拋液包括以下原料：第一磨料1-7份、分散劑0.1-1份、懸浮劑0.1-1份、氧化劑2-3份，余量為水，合計100份，第一磨料包括金剛石或氧化鋁；第二精拋液包括以下原料：第二磨料89-97份、分散劑0.1-1份、氧化劑3-10份，合計100份，第二磨料包括硅溶膠。通過氧化劑提高金剛石襯底的表面能，軟化表面，使金剛石襯底更容易與磨料進行物理切削；通過加入分散劑和懸浮劑使磨料顆粒分散均勻，獲得相對一致的加工表面。

       金剛石作為一種具有極高硬度和硬脆特性的材料，廣泛應用于各個領域，如電子、光學、工具加工等。目前需要對金剛石晶體進行切割、研磨、拋光等工序才能夠對金剛石進行工業化利用。

       金剛石拋光技術主要有機械拋光、熱化學拋光、激光拋光和化學機械拋光等，其中化學機械拋光（CMP）通過在機械拋光過程中加入氧化劑，氧化碳原子提高拋光速率，是一種利用機械與化學氧化協同作用來實現工件表面平坦化的技術，具有表面損傷小、粗糙度低、設備簡單、運行維護成本低，拋光后的表面污染較輕等優點,。

       但由于金剛石的化學惰性極高，硬度極高，常規的拋光液難以達到理想的超光滑表面和無損傷表面，因此市面上用于金剛石襯底的精拋液幾乎沒有。因此開發可用于金剛石襯底的精拋液，對于克服金剛石拋光工藝中存在的拋光速率低、表面粗糙度低、表面質量差等缺陷具有重要意義。

       關于中機新材

       深圳中機新材料有限公司（簡稱中機新材）是一家專注于高硬脆材料和高性能研磨拋光材料的技術研發、生產及銷售的高新技術企業。有近百項發明專利；榮獲2022年中國創新創業大賽全國賽新材料組優秀企業獎；尤其在第三代半導體晶圓研磨拋光應用領域，公司取得多項關鍵性技術突破，持續為客戶高質量穩定供應。產品廣泛應用于半導體、光電、3C、新能源等領域。