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官方微信摘要 項目介紹：隨著激光器性能的不斷提高，在眾多的薄膜制備方法中，PLD技術的應用最為廣泛，可用來制備金屬、半導體、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各種物質薄膜，...
項目介紹： 隨著激光器性能的不斷提高，在眾多的薄膜制備方法中，PLD技術的應用最為廣泛，可用來制備金屬、半導體、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各種物質薄膜，甚至還用來制備一些難以合成的材料膜，如金剛石、立方氮化物膜等，并取得了很大的成功。
工作原理：
在制膜腔內，用透鏡將一束強脈沖激光匯聚成一個很小的光斑，打在靶材料上，受到激光光斑照射的靶材料瞬時被氣化、電離，形成一團等離子體，高速向外噴射，從而在襯底上沉積形成一層薄膜。
系統構成：
（1）、準分子激光器
（2）、PLD沉積系統
豫公網安備41019702003604號