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官方微信摘要 金融界2024年8月4日消息，天眼查知識(shí)產(chǎn)權(quán)信息顯示，浙江求是半導(dǎo)體設(shè)備有限公司,浙江晶盛機(jī)電股份有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種拋光設(shè)備“，公開號(hào)CN202410874366.5，申請(qǐng)...
金融界 2024 年 8 月 4 日消息，天眼查知識(shí)產(chǎn)權(quán)信息顯示，浙江求是半導(dǎo)體設(shè)備有限公司,浙江晶盛機(jī)電股份有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種拋光設(shè)備“，公開號(hào) CN202410874366.5，申請(qǐng)日期為 2024 年 7 月。
專利摘要顯示，本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體拋光技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種拋光設(shè)備及檢測(cè)方法，包括：拋光盤，所述拋光盤具有工作面；拋光墊，所述拋光墊粘接設(shè)置于所述工作面上；以及檢測(cè)組件，所述檢測(cè)組件位于所述拋光盤和所述拋光墊之間，并連接于所述拋光盤或所述拋光墊上，所述檢測(cè)組件用于檢測(cè)所述拋光墊和所述拋光盤之間的間距并輸出。解決了拋光墊狀態(tài)無(wú)法檢測(cè)的技術(shù)問(wèn)題，達(dá)到了實(shí)時(shí)檢測(cè)拋光墊及氣泡狀態(tài)的技術(shù)效果。
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