申請日: 2015.08.14
國家/省市: 中國福建(35)
公開號: 105043303A
公開日: 2015.11.11
主分類號: G01B 11/25(2006.01)
分類號: G01B 11/25(2006.01)
申請人: 華僑大學(xué)
發(fā)明人: 余卿; 崔長彩; 易定容; 章明; 孔令華; 葉瑞芳; 范偉; 王寅; 李煌; 張勇貞
代理人: 陳智海
代理機(jī)構(gòu): 35205
申請人地址: 福建省泉州市豐澤區(qū)城東華僑大學(xué)
摘要: 本發(fā)明公開了一種用于砂輪表面形貌的檢測方法與系統(tǒng),其系統(tǒng)包括沿光源發(fā)出光束的光路上依次設(shè)置的準(zhǔn)直透鏡、數(shù)字微鏡器件、分光鏡和色散透鏡;待測砂輪對應(yīng)于色散透鏡的出射側(cè)設(shè)置,并在垂直于光軸的方向的一固定軸上做一維橫向移動,以及繞著此固定軸做旋轉(zhuǎn)運動。本發(fā)明將數(shù)字微鏡器件作為線型光源,結(jié)合色散透鏡產(chǎn)生線型色散光,可同時對待測砂輪表面上的多點進(jìn)行垂直于光軸方向的橫向掃描,結(jié)合待測砂輪繞固定軸的旋轉(zhuǎn)運動,在無需沿光軸方向做縱向掃描的前提下獲得整個待測砂輪表面的三維幾何量信息。從而可很好地表征待測砂輪表面的三維信息,并極大地提高了針對砂輪表面形貌的測量效率。
主權(quán)利要求 1.一種用于砂輪表面形貌的檢測系統(tǒng),其特征在于:沿光源發(fā)出光束的光路上依次設(shè)置準(zhǔn)直透鏡和數(shù)字微鏡器件,且經(jīng)準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直的光束與數(shù)字微鏡器件的表面呈66°入射,此光束在垂直于數(shù)字微鏡器件的表面的方向反射;經(jīng)數(shù)字微鏡器件反射的光束的光路上依次設(shè)置分光鏡和色散透鏡;待測砂輪對應(yīng)于色散透鏡的出射側(cè)設(shè)置,并在垂直于光軸的方向的一固定軸上做一維橫向移動,以及繞著此固定軸做旋轉(zhuǎn)運動。
