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離子化蒸鍍法

關鍵詞 離子化蒸鍍法|2011-06-21 14:55:25|制造技術|來源 中國磨料磨具網
摘要 此方法是利用等離子體中的粒子進行成膜。首先把硼的靶源用電子束照射蒸發，同時使氮氣通過熱鎢燈絲使其分解，蒸發的硼原子和熱解的氮原子由于受到電子的照射，一部分離子化，在基板偏壓的作用下...
　　此方法是利用等離子體中的粒子進行成膜。首先把硼的靶源用電子束照射蒸發，同時使氮氣通過熱鎢燈絲使其分解，蒸發的硼原子和熱解的氮原子由于受到電子的照射，一部分離子化，在基板偏壓的作用下，這些粒子和離子加速，在基板上形成立方氮化硼薄膜。
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